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关于各类气体

     包括腐蚀性气体都要进行严格的洁净性检测。气体要进行干燥处理,尽量避免气体产生化学反应。在大流量的情况下,腐蚀物和沉淀物是产生回流的重要原因,在腐蚀性气体流量变大的情况下,气瓶容易产生水气混合现象,从而导致腐蚀。还有当气瓶更换频繁的时候,没有进行足够的洁净工序,使气体混有水分,这也是产生腐蚀的原因之一。液体气体的情况下,除去WF6等低压,一般情况下要进行双级减压,双级减压器可以起到防止温度降低的作用。关于各种减压器的最大流量等使用限度方面,要根据不同情况进行不同分析。