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阀门系列

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产品名称:DV-MS隔膜阀

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DV-MS隔膜阀,膜片式硬密封结构,泄漏率极低;适用于超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体,满足超大规模集成电路的工艺气体要求。

 

工作条件:

 

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产品特点:

 

1.适合超高纯度气体应用
2.高低压两种阀型
3.Elgiloy®材料膜片(标准品)
4.最优设计,使用寿命长
5.流体接触表面经过电解抛光处理
6.全部通过氦气的测漏检验全部通
7.外漏率低于1.0×10-10Pa.M3/sec.He

 

主要部件材料:

 

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产品种类:

 

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订购型号:

 

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