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Xα系列

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产品名称:Xα-VL

所属大类: 半导体用高纯洁净减压器

所属小类:Xα系列

Xα-VL精密绝对压力气体减压器。单级膜片式设计;低压输入,-0.1MPa~0~0.2MPa小流量输出,输出压力稳
定;适用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量5L/min。

 

工作条件:

 

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产品特点:

 

1.柔性膜片结构,调节顺畅,输出压力精密到0.001MPa.流量损失小
2.单级式减压,死体积小,便于吹扫
3.进口出口可以加装其他附件
4.超纯水清洗

 

剖面图:

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主要部件材料:

 

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安装图:

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曲线图: 

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原压调节范围:

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产品说明:

 

Xa系列精密减压器为半导体制造技术气体专用减压器,达到USLI、MEGA要求,在严格的工程品质管理下,于超净环境下制造。

 

订购型号:

 

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