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Xα系列

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产品名称:Xα-1H

所属大类: 半导体用高纯洁净减压器

所属小类:Xα系列

Xα-1H精密气体减压器。单级膜片式设计,硬密封结构,内部电解抛光处理;中等压力输入,低压标准流量输出,输出压力稳
定;适用于半导体高纯气体、毒性、腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量60L/min。

工作条件:


产品特点:

1、柔性膜片结构,手柄特殊结构设计,调节顺畅,输出压力精密到0.001MPa.流量损失小
2、单级式减压,死体积小,便于吹扫
3、进口出口可以加装其他附件
4、超纯水清洗
  
剖面图:                                                                                主要部件材料:

 
                                       

安装图:


                                                                                                                                                           *尺寸单位:mm
                                                                                                                                         *尺寸仅供参考,请以实物为准

流量曲线图:                                                                             说明:

               
订购型号: