中文EnglishJapaneseSpanish

Pα系列

>> 您现在的位置:主页 > 产品中心 > Pα系列 > Pα-BB

产品名称:Pα-BB

所属大类: 半导体用高纯洁净减压器

所属小类:Pα系列

Pα-BB精密气体减压器。单级膜片式设计;低压输入,低压大流量输出,输出压力稳定;用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量1000L/min。

 

工作条件:

 

undefined
 

产品特点:

 

1.柔性膜片结构,调节顺畅,输出压力精密到0.001MPa.流量损失小
2.单级式减压
3.进口出口可以加装其他附件
4.主要部件电解抛光处理,增加腐蚀性
5.内置精密过滤器,保证气体洁净
6.超纯水清洗

 

剖面图:

     undefined
主要部件材料:

 

undefined

 

安装图:

undefined
曲线图:

undefined
安装方式:

Pa系列精密减压器为半导体制造技术气体专用减压器,达到USLI、MEGA要求,在严格的工程品质管理下,于超净环境下制造。

 

订购型号:

 

undefined